一、 概述

低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。低温等离子体的产生方法有：辉光放电，电晕放电，介质阻挡放电，射频放电，滑动弧放电，射流放电，大气压辉光放电，次大气压辉光放电。

二、 工艺原理及流程：

（1）工艺原理：当废气经过等离子发生器时，在高压脉冲电场中，通过前后沿陡峭、脉宽极窄（ns）的高压脉冲电晕放电，在常温下获得非平衡高能低温等离子体，即产生大量高能电子（约5eV）和具有极强氧化性能的羟基自由基（·OH、·HO2、·O）、以及氧化性极强O3等高能活性粒子，与废气中有机物分子进行非弹性碰撞，使有机物分子化学键断裂，发生一系列复杂氧化、降解化学反应，最终使废气中有毒有害有机物转变为无害的二氧化碳和水等，使废气得到净化。

三、设备适用性：

适用的参数类型：大风量、低浓度的工业有机废气治理。